開き角とは?

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開き角 aperture angle

クロスオーバーからレンズ見込んだ角度対物レンズ場合を例にすると、試料から対物レンズ見込んだ角度を言う。通常対物レンズ絞りが置かれているので、それを見込んだ角度を意味する。
下図左の場合対物レンズ絞り対物レンズ直下に置かれているが、その半径を r、対物レンズ絞り試料との距離を zとすると、開き角は α = r/zとなる。右図では、対物レンズ絞り集束レンズ対物レンズの間に置かれているが、その半径を r、集束レンズによる電子源の像から対物レンズ絞りまでの距離を a、対物レンズまでの距離を b、対物レンズ試料との距離を zとすると、開き角は α = rb/zaとなる。
開き角

関連する用語

開き角

【英】:divergence angle

入射線の拡がりを半角で表わしたもの試料への電子線照射のは、対物レンズ励磁固定で使われることが多いので、第2コンデンサーコンデンサーミニレンズ励磁およびコンデンサー絞りの径によって決まる。

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