対物レンズ絞り

走査電子顕微鏡基本用語集

対物レンズ絞り　objective-lens aperture, OL aperture

対物レンズに入射する電子線の内、光軸近傍の電子線だけを通して、それ以外を遮蔽する目的で使用される絞り。孔径が小さい絞りを使うと球面収差や色収差が小さくなり、電子プローブ径は小さくなると同時に焦点深度も深くなるが、プローブ電流は少なくなる。ただし、孔径が小さすぎると回折収差が大きくなり、電子プローブ径は大きくなるので、最適な孔径がある。孔径が大きい絞りを使うとプローブ電流は多くなるが、収差のため電子プローブ径は大きくなり、焦点深度も浅くなる。絞り孔径の切替だけではなく、軸合わせのための位置調整ができるようになっている。

関連する用語

• 対物レンズ
• 絞り
• 電子線
• 光軸
• 収差
• 回折収差
• 球面収差
• 色収差
• 電子プローブ径
• 焦点深度
• プローブ電流
• 軸合わせ