出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/03/25 08:21 UTC 版)
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真空チャンバーは真空装置の仕様である真空システムにより決定され以下の要素を持つ。
などである。
真空チャンバーは単体では特に機能を持たないため、チャンバーに真空ポンプを取り付けることで真空環境を作り出すことができる。また、目的とする真空装置の仕様により真空ポンプは選定しなければならない。
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