take-off angleとは? わかりやすく解説

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取り出し角 take-off angle

試料表面X線検出器のなす角度一般SEMにおいては3040程度であり、この角度大きくなるX線試料中での減衰量が小さくなり、角度小さくなる減衰量が大きくなる所定作動距離以外で分析行ったり、試料表面が傾いた状態で分析を行うと、取り出し角が初期設定値異なるため定量分析精度悪くなる
取り出し角

関連する用語

取り出し角

【英】:take-off angle

EDSにおいて、試料から放出される特性X線を、試料より上方位置する検出器取り出す角度のこと。試料面と検出器の上端でなす角度表わす。この角度大きく設定することによって、試料から放出されるX線試料内での拡散距離を短くできるので、定量性よくなる

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