粒子解析とは？ わかりやすく解説

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粒子解析　particle analysis

SEM像や元素分布像から粒子を分離・抽出し、画像解析を行うこと。面積、周囲長、直径などを測定したり、円形度、アスペクト比などを解析し、統計的に処理する。SEM像の場合、明るさを二値化するので、反射電子組成像がよく使われ、EDSの元素マッピング像が使われることもある。試料ステージを併用することで、広範囲の自動測定が可能である。

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