試料損傷

走査電子顕微鏡基本用語集

試料損傷（電子線損傷）　specimen damage,electron beam damage

観察中に電子線照射によって試料が変形したり、観察している場所が凹んでしまう現象。一般に熱に弱い試料を高倍率で観察するときに起きやすい。SEMでの試料損傷は熱損傷が主な原因と考えられるので、観察時の加速電圧を下げたり、プローブ電流を減らす等によって、損傷の度合いを小さくすることができる。試料を冷やしたり、金属コーティングをする、といった工夫が行われる場合もあるが、同一視野を長時間観察しない、倍率を上げすぎないといった注意も必要である。

関連する用語

• 加速電圧
• プローブ電流
• 低加速電圧観察
• 試料冷却ステージ
• 金属コーティング
• 試料汚染