読み方：ふぉとりそぐらふぃー
《「フォトリトグラフィー」とも》半導体集積回路などの製造工程で、シリコンのウエハー上にフォトレジストという感光材料を塗布し、レチクル（フォトマスク）とよばれる回路のパターンの原板を重ねて光を照射し、エッチングなどで刻み込む技術。光リソグラフィー。リソグラフィー。
読み方：ふぉとりとぐらふぃー
読み方：ひかりりそぐらふぃー
《photolithography》⇒フォトリソグラフィー
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