環境制御形SEMとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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環境制御形SEM　ESEM: environmental scanning electron microscope

低真空SEMの一種。一般の低真空SEMと違って、試料室の圧力が数千 Paまで高められるようにしてある。蒸気圧の低い物質では室温で液滴が観察された例もある。圧力が高いので、二次電子の検出にはガス増幅を利用した検出器（ESD）が使われる。

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