長距離スパッタとは？わかりやすく解説

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長距離スパッタ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/05/26 03:19 UTC 版)

「Si貫通電極」の記事における「長距離スパッタ」の解説

スパッタのターゲットと基板を離すことで、深い穴の底まで良く届く平行な角度を作る。

※この「長距離スパッタ」の解説は、「Si貫通電極」の解説の一部です。
「長距離スパッタ」を含む「Si貫通電極」の記事については、「Si貫通電極」の概要を参照ください。

ウィキペディア小見出し辞書の「長距離スパッタ」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。お問い合わせ。

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	Text is available under GNU Free Documentation License (GFDL). Weblio辞書に掲載されている「ウィキペディア小見出し辞書」の記事は、WikipediaのSi貫通電極 (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。

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