薄膜レンズとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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薄膜レンズ　thin-film lens

円孔電極と絶縁物を隔てて薄膜を置き、電極と薄膜の間に電圧を加えられるようにした静電レンズ。薄膜にマイナスの電圧を加えると、凹レンズができ、回転対称な磁界レンズの球面収差を補正することができる。薄膜での電子の吸収やエネルギー損失が問題にならないような高加速電圧のSTEMで有効である。

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