自己組織化リソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)
「次世代リソグラフィ」の記事における「自己組織化リソグラフィ」の解説
詳細は「自己組織化リソグラフィ」を参照 自己組織化リソグラフィは分子間相互作用の巧みな制御によって規則構造を有する分子集合体を自発的に発現させる方法で塗布・アニール・現像のみでパターンを形成できる。
※この「自己組織化リソグラフィ」の解説は、「次世代リソグラフィ」の解説の一部です。
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