精密加工ツール
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/17 00:09 UTC 版)
「ディスコ (切断装置製造)」の記事における「精密加工ツール」の解説
ダイシングブレード ダイシングソーに装着し、シリコンウェーハをはじめ、さまざまな被加工物の切断・溝入れなど切断加工を行うツール。 グラインディングホイール グラインダに装着し、シリコンウェーハや化合物半導体ウェーハなどを薄く平坦にする研削加工を行うツール。 ドライポリッシングホイール ポリッシャに装着し、裏面研削後の微細な研削痕を除去する（ストレスリリーフ）、研磨加工を行うツール。
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