グラインディングホイール
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/17 00:09 UTC 版)
「ディスコ (切断装置製造)」の記事における「グラインディングホイール」の解説
グラインダに装着し、シリコンウェーハや化合物半導体ウェーハなどを薄く平坦にする研削加工を行うツール。
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