粉塵の測定
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/04/26 02:36 UTC 版)
クリーンルーム内の粉塵の測定法についてはISO 14644-1で規定されている。クリーンルームでは浮遊微粒子濃度と呼ばれる単位を用い、粒径範囲内の粒子の個数濃度である(個/m3)(個/L)(個/ft3)などで表される。 一般家庭やオフィスビルなどの建築物内は質量濃度(mg/m3)を用いる。「建築物における衛生的環境の確保に関する法律」で室内環境基準において浮遊粉塵の量が0.15mg/m3以下と規定されている。
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