パルス管冷凍機とは? わかりやすく解説

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パルス管冷凍機

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/09/17 23:21 UTC 版)

冷凍機」の記事における「パルス管冷凍機」の解説

スターリング冷凍機やギフォード·マクマホン冷凍機可動部としてディスプレーサをもつが、パルス管冷凍機(パルスかんれいとうき、Pulse tube refrigerator)は低温部に可動部品を持たないので、摩擦熱による性能低下影響を、スターリングエンジンよりも減らせる考えられている。 実用例として、半導体製造装置での冷却器などに応用されている。

※この「パルス管冷凍機」の解説は、「冷凍機」の解説の一部です。
「パルス管冷凍機」を含む「冷凍機」の記事については、「冷凍機」の概要を参照ください。

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