ターゲット機構

超電導用語解説集

ターゲット機構

レーザ蒸着法等において、ターゲットはレーザ光等が照射された部分から蒸発する。その結果、ターゲット表面でその部分だけがえぐれ凹凸が生じやすい。ターゲット表面に大きな凹凸が生じると成膜条件が変化する等の悪影響が生じるため、長時間安定して均質な膜を成膜するためには、レーザ光がターゲット全面に平均してあたるように、ターゲットを回転・並進移動するためのターゲット機構が必要になる。