スピンコートの工程

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スピンコートの工程

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/19 08:14 UTC 版)

「スピンコート」の記事における「スピンコートの工程」の解説

技術者により数え方が異なるかも知れないが、スピンコート工程は4段階に分けられる。 ウエハー若しくは基材上に塗布液を供給する。 これはノズルから噴射する方法とたらす方法がある。 回転速度を高める。 液体を遠心力で除去する。 溶媒を蒸発させる。