キャプチャリングシール
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2015/11/23 05:11 UTC 版)
「真空フランジ」の記事における「キャプチャリングシール」の解説
キャプチャリングシールは断面が長方形のリングである無酸素銅やアルミのガスケットをエッジの付いた特定形状の真空フランジである。ガスケットを挟み込み変形により閉じ込める（キャプチャリング）ことによりシールを行う。キャプチャリングシールは長時間の締め付けやベーキングの繰り返しによる塑性変形によるリークを起こさない優秀なシールである。 Varian社が開発しConFlatフランジとして売り出された。現在でも多くの真空装置で使用され特に超高真空領域まで排気を必要とする真空チャンバーのシール部分には多く使用される。
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