カラー蛍光SEMとは？ わかりやすく解説

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カラー蛍光SEM　color fluorescence SEM

小池らによって開発されたもので、試料から放出されるカソードルミネッセンスを波長領域で分け、カラー画像として表示するSEM。実際には、検出したカソードルミネッセンスを、ダイクロイックミラー（三原色のフィルタ）を通してR、G、Bのカラー信号に分離し、画像上で再合成するシステムとなっている。

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