エネルギーアナライザとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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エネルギーアナライザ　energy analyzer

試料から放出される種々の電子のエネルギーを分光し、スペクトルを取得するための装置。複数の電極と検出器で構成され、電極の電圧を変えることで検出器に入射する電子のエネルギーを変え、スペクトルを作る。

四宮ありす

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