ゆうききんぞくきそうせいちょうほう

デジタル大辞泉

ゆうききんぞく‐きそうせいちょうほう〔イウキキンゾクキサウセイチヤウハフ〕【有機金属気相成長法】

読み方：ゆうききんぞくきそうせいちょうほう

原料に有機金属を含む混合ガスを用いた化学気相成長法。化合物半導体の作製に利用され、これにより発光ダイオードや半導体レーザーなどの光デバイスの大量生産が可能になった。有機金属化学蒸着法。有機金属化学気相反応法。有機金属CVD（chemical vapor deposition）。MOCVD（metal organic chemical vapor deposition）。MOVPE（metal organic vapor phase epitaxy）。