取り出し角

走査電子顕微鏡基本用語集

取り出し角　take-off angle

試料表面とX線検出器のなす角度。一般のSEMにおいては30〜40゜程度であり、この角度が大きくなるとX線の試料中での減衰量が小さくなり、角度が小さくなると減衰量が大きくなる。所定の作動距離以外で分析を行ったり、試料表面が傾いた状態で分析を行うと、取り出し角が初期設定値と異なるため定量分析の精度が悪くなる。

関連する用語

• 定量分析

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取り出し角

【英】：take-off angle

EDSにおいて、試料から放出される特性X線を、試料より上方に位置する検出器で取り出す角度のこと。試料面と検出器の上端でなす角度で表わす。この角度を大きく設定することによって、試料から放出されるX線の試料内での拡散距離を短くできるので、定量性がよくなる。

説明に「取り出し角」が含まれている用語

• サイドエントリーステージ
• 高角度（配置）型EDS検出器
• 低角度（配置）型EDS検出器