凹凸像とは?

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凹凸像 topographic image

光軸に関して対称に置いた二つ検出器反射電子検出する場合検出器出力の差を信号としてSEM像を作ると、組成情報打ち消し凹凸情報のみを得ることができる。これを凹凸像と言う比較的低角度一方向から照明当てたような像になるため、二次電子像では見にくいなだらかな凹凸でも高いコントラスト観察することができるのが特長である。ただし、反射電子を使うことから解像力ある程度低くなる。
下図は、凹凸像を得るための検出器出力A-出力Bの信号を用いることで検出器Aの方向から光を当てたようなコントラストの像を得ることができる。なお、出力A+出力Bを信号として像を作る組成像を得ることができる。
凹凸像

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