反射電子組成像とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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反射電子組成像　compositional image in BE mode,compositional image in BSE mode

光軸に関して対称に置いた二つの検出器で反射電子を検出する場合、検出器の出力の和を信号としてSEM像を作ると、凹凸情報を打ち消して組成情報のみを得ることができる。これを組成像または反射電子組成像と言う。
下図は反射電子組成像を得るための検出器で、出力 A+出力Bの信号を用いることで組成コントラストを持った像を得ることができる。なお、出力A-出力Bを信号として像を作ると凹凸像となる。

反射電子組成像

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