反射電子検出器

走査電子顕微鏡基本用語集

反射電子検出器　backscattered-electron detector,BE detector,BSE detector

反射電子を検出するための検出器。半導体検出器、シンチレータ、マイクロチャンネルプレートなどが使われるが、検出したい電子のエネルギーが高いため、高電圧を検出器に掛けることはしない。半導体検出器には検出器を分割し、出力を演算することで組成情報と凹凸情報が分離できるようにしたものがある。シンチレータ形の検出器としてはロビンソン検出器と呼ばれるものや、YAG単結晶を使ったものがあり、半導体検出器に比べて応答が速い。

関連する用語

• 反射電子
• マイクロチャンネルプレート
• ロビンソン検出器
• YAG検出器

透過電子顕微鏡基本用語集

反射電子検出器

【英】：backscattered-electron detector

電子ビームの照射により試料表面からの反射電子を検出する検出器。TEM機ではマイクロチャンネルプレートが使われている(SEM専用機ではp-nジャンクションを利用した半導体検出器が使われている)。検出効率を上げるために円環状にした検出器を試料直上に置く。マイクロチャンネルプレートは反射電子を検出し電気信号に変換する。反射電子のエネルギーは高いので、二次電子の場合のように付加的な加速は必要ない。反射電子像は、電子ビームで試料表面上を走査し、それに同期して反射電子の強度を輝点列としてコンピュータモニタ上に表示して得られる。円環状の検出器を2分割して用いて、組成(COMPO)像および凹凸(TOPO)像を得る手法が一般化している。すなわち、分割して得た二つの信号をプリアンプで増幅したあとメインアンプで演算処理し、組成像は二つの信号を加算して、凹凸像は減算して得られる。4分割した検出器を用いて、組成信号と凹凸信号を合成して立体(SHADOW)像を得ることもある。

関連する用語

• 反射電子
• マイクロチャンネルプレート

説明に「反射電子検出器」が含まれている用語

• マイクロチャンネルプレート

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反射電子検出器

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)

「電子線描画装置」の記事における「反射電子検出器」の解説

描画位置検出やマーク付きウェハーの位置検出などにも用いられる。