isolation valve

走査電子顕微鏡基本用語集

仕切り弁（エアロック弁,ゲート弁）　air-lock valve,gate valve,isolation valve

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉するものと真空動作に伴って自動的に開閉するものがある。

関連する用語

• 電子光学系
• 試料室
• 試料交換室
• インターロック

透過電子顕微鏡基本用語集

仕切り弁

【英】：isolation valve

ある部分を他の部分と隔離するための弁。電子銃室、試料室—鏡筒、カメラ室を、他の部分に影響を与えることなく独立に真空を破ることができるように、それらの間に設けられている。

説明に「仕切り弁」が含まれている用語

• 予備排気