external disturbanceとは？わかりやすく解説

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外乱

読み方：ガイラン
【英】：external disturbance

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制御システムの状態を乱す量。

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外乱　external disturbance

SEMの性能に影響を与える、静磁場変動、交流磁場、床振動、音響、気圧変動など、設置環境に起因する要因。

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外乱

【英】：external disturbance (interference)

電子顕微鏡の安定性、性能を損ねる外部からの電磁場ノイズや機械的な振動。

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