電子プローブマイクロアナライザとは？わかりやすく解説

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電子プローブマイクロアナライザ（イーピーエムエー）

略語：EPMA
【英】：electron-probe microanalyzer

走査電子顕微鏡に特性X線の分光分析用のWDS(EDSも付加できる)機能を付加した装置。バルク試料の表面の非破壊で定性および定量分析に用いられる。WDSを用いているので、スペクトルの分解能、検出器の不感時間においてEDSよりも優れている。

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