電子プローブ径

走査電子顕微鏡基本用語集

電子プローブ径　electron-probe diameter

電子プローブの直径。電子源の直径、光学系の縮小率、対物レンズの収差などによって決まる。実際の電子プローブ径を測定するには、ナイフエッジ状の試料の上を、電子プローブが横切ったときの、二次電子、透過電子などの信号強度から測定する。しかし、電子プローブが細くなるとこの方法による測定は困難であり、TEMのような拡大・結像系を持つ装置が必要となる。なお、SEMの解像力は電子プローブ径より良い値になる。

関連する用語

• TEM
• 電子プローブ
• 電子源
• 対物レンズ
• 収差
• 二次電子
• 透過電子