EPMA
別名：いーぴーえむえい
【英】：electron probe micro analyzer
顕微鏡下の微小部の分析に使用される。電子線を1μm以下の微小径に収束し、照射点より発生するX線を分光分析して微小部の元素分析を行う。X線の発生以外にも電子線照射によって生ずる種々の物理現象を利用して各種の分析ができる。
【英】：electron probe micro analyzer
顕微鏡下の微小部の分析に使用される。電子線を1μm以下の微小径に収束し、照射点より発生するX線を分光分析して微小部の元素分析を行う。X線の発生以外にも電子線照射によって生ずる種々の物理現象を利用して各種の分析ができる。
電子線微小部分析器
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