照射量とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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照射量　illumination dose,dose

試料上に照射される電子の量。プローブ電流と照射時間の積であるが、全電荷量を言う場合と、単位面積当たりの電荷量を言う場合がある。また、電荷量の代わりに電子の数で表現する場合もある。

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