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走査電子顕微鏡基本用語集

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ビームブランキング（ブランキング）　beam blanking,blanking

試料に電子線を照射したくないとき、一時的に電子線を遮断すること。実際には、電子銃からは電子線を放出したまま、途中に置いた偏向器で電子線を曲げることで、電子線を遮断する。高速で電子線を遮断するときは静電偏向器を使い、比較的遅い速度で遮断するときは偏向コイルを用いる。

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