「ビームブランキング」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~7/7件中)
レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プロー...
レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プロー...
レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プロー...
レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プロー...
レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プロー...
試料上で起きる周期現象を観察するため、その周期に合わせてパルス状の電子プローブを間欠的に照射したり、信号の取り込みを間欠的に行う機能を持つSEM。電位コントラストと組み合わせてデバイスの動作を観察する...
試料上で起きる周期現象を観察するため、その周期に合わせてパルス状の電子プローブを間欠的に照射したり、信号の取り込みを間欠的に行う機能を持つSEM。電位コントラストと組み合わせてデバイスの動作を観察する...
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