開き角 aperture angle
- クロスオーバーからレンズを見込んだ角度。対物レンズの場合を例にすると、試料から対物レンズを見込んだ角度を言う。通常は対物レンズ絞りが置かれているので、それを見込んだ角度を意味する。
下図左の場合、対物レンズ絞りは対物レンズの直下に置かれているが、その半径を r、対物レンズ絞りと試料との距離を zとすると、開き角は α = r/zとなる。右図では、対物レンズ絞りは集束レンズと対物レンズの間に置かれているが、その半径を r、集束レンズによる電子源の像から対物レンズ絞りまでの距離を a、対物レンズまでの距離を b、対物レンズと試料との距離を zとすると、開き角は α = rb/zaとなる。
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