Vacuum pumpとは？ わかりやすく解説

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真空ポンプ　vacuum pump

電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。

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しんくうポンプ 真空ホンプ vacuum pump

装置や系内の空気を抜き出して真空を作り出すポンプで、往復動形や回転形などがある。冷凍機の真空管層や冷媒充填の際などに、また真空還水式蒸気暖房装置に用いられる。

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