SOG

研磨用語集

SOG

えす・おー・じー

ウェハのプラナリゼーション手法の１つで、spin coating on glass　の略語。シラノール化合物の溶液を絶縁膜上に回転塗布（ spin coating )し、加熱処理してSOG膜と呼はれるSiO2膜を形成する。この膜は、CVDで形成した絶縁膜に残存する微小凹凸に層間絶縁膜として埋込まれて凹凸を平坦化する。