High-κ絶縁体
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/11/05 09:28 UTC 版)
High-κ絶縁体（はいかっぱぜつえんたい）とは、（二酸化ケイ素と比べて）高い比誘電率 κ を持つ材料に対する呼称である。半導体製造プロセスでHigh-κ絶縁体は、二酸化ケイ素ゲート絶縁体やその他の絶縁膜を置き換えるために用いられる。high-κゲート絶縁体は、ムーアの法則と呼ばれるマイクロ電子部品のさらなる微細化の戦略の一つである。
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- ^ IEEE Spectrum: The High-k Solution
- ^ “UltimateLowPower Technology|Advanced Process Technology|Technology|NEC Electronics”. Necel.com. 2010年2月19日時点のオリジナルよりアーカイブ。2011年11月8日閲覧。
[続きの解説]
「High-κ絶縁体」の続きの解説一覧
- 1 High-κ絶縁体とは
- 2 High-κ絶縁体の概要
- 3 産業での用途
- 4 関連項目
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