出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/04/20 06:28 UTC 版)
ECRイオン源は、電子サイクロトロン共鳴を利用してプラズマをイオン化する。マイクロ波は、電子サイクロトロン共鳴に対応する周波数でボリュームに注入される。これは、ボリューム内の領域に適用される磁場によって定義される。ボリュームには、低圧ガスが含まれている。
※この「ECRイオン源」の解説は、「イオン源」の解説の一部です。
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