出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/09/26 04:03 UTC 版)
「イオン注入」の記事における「高エネルギーイオン注入装置」の解説
深い領域へのイオン注入を行うための装置。装置には大規模な加速機構が備わっており、2価以上の多価イオンを用いることで最大数MeVまでイオンを加速することも可能である。発生させることのできるイオンビーム電流はマイクロアンペアオーダー。
※この「高エネルギーイオン注入装置」の解説は、「イオン注入」の解説の一部です。
「高エネルギーイオン注入装置」を含む「イオン注入」の記事については、「イオン注入」の概要を参照ください。
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