出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/08/20 08:37 UTC 版)
電子ビーム共蒸着法は、各元素ごとに蒸着レートを決定することができ、組成制御が容易に行える方法で真空容器内で複数の蒸着源を個々に電子ビームで加熱蒸発させ、ヒーターによって加熱された基板上に薄膜として成長させる。
※この「電子ビーム共蒸着法」の解説は、「REBCO」の解説の一部です。
「電子ビーム共蒸着法」を含む「REBCO」の記事については、「REBCO」の概要を参照ください。
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