出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/18 12:52 UTC 版)
薄膜を評価する方法は多数存在し、電子線を用いる方法（LEED、SEM、TEMなど）、イオンを用いる方法（ISS、SIMSなど）、X線回折を用いるものや応力検査などがある。
※この「薄膜の評価」の解説は、「薄膜」の解説の一部です。
「薄膜の評価」を含む「薄膜」の記事については、「薄膜」の概要を参照ください。
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