真空チャンバーの排気
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/03/25 08:21 UTC 版)
「真空チャンバー」の記事における「真空チャンバーの排気」の解説
真空チャンバーは単体では特に機能を持たないため、チャンバーに真空ポンプを取り付けることで真空環境を作り出すことができる。また、目的とする真空装置の仕様により真空ポンプは選定しなければならない。
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