液化CO2を用いるドライアイスパウダー洗浄方式
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/19 03:40 UTC 版)
「ドライアイス洗浄」の記事における「液化CO2を用いるドライアイスパウダー洗浄方式」の解説
液化CO2から取り出したままの粉末状のドライアイス粉末を、本体、またはノズル内で混合し、エアーと混合して吹き付ける洗浄方法。液化CO2タンクがあれば、何時でも洗浄が出来るが、ペレットやペレット粉砕式に比べて威力が落ちる。 洗浄の特徴 ドライアイスの入手が困難か、洗浄が突然必要になる様な場所に適する。 半導体装置や半導体のコンタミ除去
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