取り出し角とは？ わかりやすく解説

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取り出し角　take-off angle

試料表面とX線検出器のなす角度。一般のSEMにおいては30〜40゜程度であり、この角度が大きくなるとX線の試料中での減衰量が小さくなり、角度が小さくなると減衰量が大きくなる。所定の作動距離以外で分析を行ったり、試料表面が傾いた状態で分析を行うと、取り出し角が初期設定値と異なるため定量分析の精度が悪くなる。
取り出し角

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