出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/02/17 14:21 UTC 版)
「超解像技術」の記事における「半導体露光装置における超解像技術」の解説
半導体露光装置(ステッパー)では光源の波長によって最小線幅が決まる。この限界を打破するために位相シフトマスクや変形照明などの超解像技術が使用される。詳しくは超解像フィルタを参照。
※この「半導体露光装置における超解像技術」の解説は、「超解像技術」の解説の一部です。
「半導体露光装置における超解像技術」を含む「超解像技術」の記事については、「超解像技術」の概要を参照ください。
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