ライナー・チューブ

走査電子顕微鏡基本用語集

ライナーチューブ　liner tube

磁界レンズの電子線通路に設けた筒。ライナーチューブを真空隔壁とすることで、レンズコイル、走査コイル、偏向コイル、非点補正装置などガス放出の多い部品を真空外に置くことができるため、鏡筒内の汚れを少なくすることができる。また、ライナーチューブ内に固定絞りを収めることで鏡筒からの取り外しを簡単にし、メンテナンスを楽にしている装置もある。

関連する用語

• 磁界レンズ
• 走査コイル
• 偏向コイル
• 非点補正装置
• 固定絞り
• 鏡筒