トリス（ジメチルアミノ）シランとは？ わかりやすく解説

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トリス（ジメチルアミノ）シラン

分子式：C6H19N3Si
その他の名称：N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine、N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine)、Tris(dimethylamino)silane、N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine)、N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン
体系名：N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン、N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン)、トリス(ジメチルアミノ)シラン、N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン)

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