トリス（ジメチルアミノ）フルオロシランとは？ わかりやすく解説

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トリス(ジメチルアミノ)フルオロシラン

分子式：C6H18FN3Si
その他の名称：Fluorotris(dimethylamino)silane
体系名：トリス(ジメチルアミノ)フルオロシラン、フルオロトリス(ジメチルアミノ)シラン

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