トリス（ジメチルアミノ）クロロシランとは？ わかりやすく解説

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トリス（ジメチルアミノ）クロロシラン

分子式：C6H18ClN3Si
その他の名称：Chlorotri(dimethylamino)silane、Tris(dimethylamino)chlorosilane
体系名：クロロトリ(ジメチルアミノ)シラン、トリス(ジメチルアミノ)クロロシラン

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