タンデム式レーザ蒸着とは？わかりやすく解説

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タンデム式レーザ蒸着

2つ以上のレーザー源を用い、光学系の操作によりレーザー源を切り替えることにより、同一の基板上に連続して成膜するレーザー蒸着法。1つのレーザー源で成膜中に他のレーザー源のメンテナンスが可能であるため、原理的には無限時間の連続成膜が可能となる。

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